26.60.12.122-00000069 — Спектральный эллипсометр
- ОКПД2
- 26.60.12.122 — Средства измерений массы, силы, энергии, линейных и угловых величин, температуры
- Единицы измерения
- Штука
- Обновлено
- 2025-02-01
- Включено в КТРУ
- 2020-11-24
- Версия
- 2
Официальная карточка позиции: Открыть в ЕИС (zakupki.gov.ru)
Характеристики
- Минимальное значение диапазона длин волн, нм (обязательная): не более 100; не более 200; не более 300; не более 600
- Максимальное значение диапазона длин волн, нм (обязательная): менее 500; не менее 500; не менее 1000; не менее 2000
- Спектральное разрешение, нм: менее 3; 3
- Воспроизводимость, град:
- Точность по толщине, нм: не более 0.01; не более 0.1
- Точность по показателю преломления, град: не более 0.001; не более 0.005
- Максимальный угол падения светового луча, град: менее 70; не менее 70; не менее 90
- Минимальный угол падения светового луча, рад: не более 45; не более 60
- Интервал падения светового луча (шаг), град: не более 2.5; не более 5
- Максимальная толщина, мкм: менее 5; не менее 5; не менее 15
- Минимальная толщина, нм: не более 0.1; не более 0.5; более 0.5
- Диаметр светового луча: не более 1.5 Миллиметр; не более 3 Миллиметр
- Диаметр светового луча с микроприставкой, мкм: 200; 100
- Время измерения на одной длине волны: не более 1.5 Секунда; не более 3 Секунда; не более 5 Секунда; не более 10 Секунда; более 10 Секунда
Родительская укрупнённая позиция: 26.60.12.122-00000070 — Спектральный эллипсометр